Дипломная работа на тему: Обзор литературы. Получение металлических пленок и покрытий методами СVD и РVD

Введение

.2.1 Вредные факторы

.2.2 Опасные факторы

.3 Охрана окружающей среды

.4 Организационные мероприятия обеспечения безопасности

.5 Чрезвычайные ситуации

Заключение

Список публикаций студента

Список использованных источников

DVD-диск. Пояснительная записка ВКР (файл "Хайруллин, ВКР" в формате doc) и презентация ВКР (файл "Хайруллин, ВКР" в формате pptx)

Введение

В настоящее время исследование тонких ферромагнитных пленок является перспективным ввиду возможности создания композиционных постоянных магнитов для микромеханики и высокочувствительных магнитных датчиков, способных обнаруживать слабые магнитные поля движущихся объектов. Огромный интерес для исследований представляют пленки системы Со-Рt благодаря наличию в них перпендикулярной анизотропии, т. е. возможности возникновения в них оси легкого намагничивания, направленной перпендикулярно к плоскости пленки. Данное свойство широко используется для создания устройств с ультравысокой плотностью записи данных [1].

Существует множество способов получения металлических тонких пленок. Но среди них наиболее перспективным является метод химического осаждения из газовой фазы (CVD), так как позволяет получать пленки высокой чистоты, с высокой однородностью толщины и состава, минимальными повреждениями подложки, высокими скоростями осаждения и возможностью нанесения на изделия сложной формы [2]. Процесс получения пленок с заданными свойствами данным методом весьма сложный. Существует множество параметров CVD-осаждения, оказывающих влияние на свойства получаемых пленок: химический состав и температура испарителя, температура подложки, давление в камере, время осаждения и другие. При этом для каждого материала пленок существуют свои оптимальные условия осаждения, при которых пленки характеризуются наилучшим сочетанием свойств. Исходя из этого, для облегчения исследования пленок системы Со-Рt и нахождения оптимальных параметров их получения, целесообразно сначала определить оптимальное сочетание параметров CVD-осаждения для пленок Со и Рt по отдельности.

Влияние условий CVD-осаждения на свойства пленок Со уже изучалось [3]. Однако практически отсутствуют исследования для пленок Со, полученных из диимината кобальта Со(N-™acN-™ас)2, применяемого в качестве предшественника. Предшественник (металлоорганическое соединение, из которого получают пленки) существенно меняет характер влияния параметров CVD-осаждения на свойства пленок [4]. Учитывая данный факт, а также то, что дииминаты металлов обладают рядом преимуществ: отсутствием кислорода, высокими летучестью, стабильностью, чистотой разложения и практическим выходом [5], необходимо исследовать влияние параметров осаждения на структуру и эксплуатационные характеристики пленок Со, полученных методом CVD из Со(N-™acN-™ас)2.

Таким образом, целью данной работы является исследование возможности получения пленок Со методом CVD из Со(N-™acN-™ас)2 с заданными магнитными и электрическими свойствами.

Оглавление

- Обзор литературы

- Получение металлических пленок и покрытий методами CVD и PVD

- Влияние условий осаждения на структуру, электрические и магнитные свойства пленок Со

- Влияние условий осаждения на структуру и магнитные свойства пленок системы Со-Рt

- Постановка задач

- Объект и методы исследования

- Материалы исследования

- Методика эксперимента

- Результаты проведенного исследования

- Рентгеноструктурные исследования пленок кобальта

- Влияние условий осаждения на морфологию поверхности пленок кобальта

- Влияние условий осаждения на толщину пленок кобальта

- Магнитные и электрические свойства пленок Со

- Обсуждение результатов Задание для раздела Финансовый менеджмент, ресурсоэффективность и ресурсосбережение

- Раздел Финансовый менеджмент, ресурсоэффективность и ресурсосбережение

- Классификация НИР

- Разделение НИР на этапы

- Определение трудоемкости этапов НИР

- Составление сметы затрат

- Затраты на амортизацию оборудования

- Затраты на основные и вспомогательные материалы

- Затраты на заработную плату

- Страховые отчисления

- Затраты на электроэнергию

- Смета затрат на НИР Задание для раздела Социальная ответственность

- Раздел Социальная ответственность