Курсовая работа на тему: Выбор вакуумных сосов по расчетам их быстроты откачки. Выбор высоковакуумного соса

Введение

Вакуумные технологии и оборудование применяется в машиностроении, электронике, металлургии, а также в химической, оптической, легкой, пищевой промышленности и медицине.

В настоящее время вакуумную технику широко используют для обеспечения технологических процессов или обеспечения работы установок различного назначения, а также в установках для имитации космических условий, ускорителях элементарных частиц. Новые типы полупроводниковых структур, особо чистые материалы, сплавы, специальные покрытия изготавливаются в вакууме. Вакуум является идеально чистой технологической средой, в которой можно осуществить электрохимические и электрофизические процессы при изготовлении изделий микроэлектроники.

Одним из важнейших условий получения и сохранения заданной среды в рабочих объемах различных вакуумных систем является герметичность их конструкций. В вакуумной технике герметизация осуществляется ради получения и сохранения необходимого вакуума. Контроль герметичности относится к числу испытаний необходимых для нормального функционирования вакуумных систем.

Под герметичностью понимают непроницаемость конструкций для газов и жидкостей. Абсолютная герметичность недостижима, поэтому герметичными считают конструкции, газовый или жидкостный обмен через которые достаточно мал для того, чтоб мешать нормальному процессу их работы.

Требования к степени герметичности устанавливаются исходя из назначения конструкций и условий работы вакуумной системы. Нарушение герметичности конструкций определяется наличием течи или проницаемостью отдельных элементов. Природа проницаемости отдельных элементов и конструкций может быть различна.

Проникновение газов и жидкостей через течи происходит гораздо быстрее, чем через сплошной материал. Поэтому обнаружение обоих видов нарушения герметичности одновременно исключено. При контроле герметичности решается только одна задача: обнаружение течи.Поскольку формы и размеры каналов течи разнообразны, их принято характеризовать количеством протекающих через них газообразных или жидких веществ в единицу времени. При заданной температуре расход (поток) газа через течь измеряется в м3*Па/с или в Вт.

Задачей курсовой работы является теоретическая разработка вакуумной системы с выбором конкретного оборудования (насосов, манометров, течеискателя) и выбор метода проверки данной системы на наличие течей.

Оглавление

- Введение

- Выбор вакуумных насосов по расчетам их быстроты откачки

- Выбор высоковакуумного насоса

- Выбор механического насоса

- Выбор манометров и их расстановка на вакуумной арматуре и вакуумной камере

- Расчет натеканий в вакуумной системе в различных режимах течения газов

- Выбор методов течеискания и течеискателя

- Описание принципа работы течеискателя и технологии течеискания Список литературы

Список литературы

- Л.Н. Розанов "Вакуумная техника",изд. 2, Москва 1990г., 320 с.

- Левин Л.Е., Пименов В.В. В"Методы и аппаратура контроля герметичности вакуумного оборудования и изделий приспособленияВ" Москва 1985г, 72с.

- Ланис В.Л., Левин Л.Е. В"Технология вакуумных испытанийВ", Москва 1963г, 264с.

- Ерюхин А.В. В"Основы вакуумных измеренийВ", Москва 1977г, 40с.

- Гуляев М.А., Ерюхин А.В. В"Измерение вакуумаВ", Москва 1967г, 148с.

- Востров Г.А., Розанов Л.М. В"ВакууметрыВ", Москва 1967г, 236с.