Реферат на тему: Ионный источник Кауфмана

Введение

Ионные источники - устройства для получения направленных потоков ионов. Ионные источники применяются в ускорителях, масс-спектрометрах, ионных микроскопах, установках разделения изотопов, ионных ракетных двигателях. Быстро расширяющаяся область технологических применений источников ионов - это оборудование ионно-лучевой обработки материалов (операции финишной очистки поверхности ИС, имплантации, распыление металлических и диэлектрических материалов, травление микроструктур и т.д. )

Существует несколько способов генерации ионных пучков: генерация ионных пучков путем бомбардировки поверхности твердого тела потоком атомов (поверхностная ионизация), исследовательских установках применяют источники с ионизацией атомов на разогретой поверхности твердых тел и т.д.

Оглавление

- Введение.

- Основные параметры плазменных ионных источников.

- Принцип действия и основные эксплуатационные особенности источника Кауфмана.

- Модификации источника Кауфмана и тенденции его развития.

- Применение ионных источников в технологии.

- Заключение.

- Список использованных источников.

Заключение

Существует большое разнообразие ионных источников, применение которых в технологии микроэлектроники открывает широкие перспективы.

Ионный источник Кауфмана по сравнению с другими имеет ряд существенных преимуществ: низкое напряжение разряда (20 В), благодаря чему ионный пучок содержит небольшое количество примесей (10-6%) и имеет малый энергетический разброс; механизм поддержания стационарного разряда позволяет применять многолучевое извлечение ионного пучка и работать с однородными потоками большого диаметра; осцилляция электронов позволяет использовать низкое давление в разрядной камере, что снижает потери пучка и уменьшает загрязнение мишени; источник имеет высокий газовый к.п.д. (80 %) и высокий энергетический к.п.д.

Список литературы

- Технология ионных источников, В.В. Коткин, Москва, Учебное пособие МИФИ, 1990г, 86 стр.

- Интенсивые электронные и ионные пучки. С.И. Молоковский , Москва ,Энергоатомиздат 1991г , 302 стр.

- Физика и технология источников ионов. Я. Браун, Москва, Мир 1998г, 420 стр.

- Обзоры по электронной технике. "Реактивное ионное травление", выпуск 1 (1010) 1984 г.

- Технология материалов электронной техники, В.В. Крапухин, И.А. Соколов, Г.Д. Кузнецов, Москва МИСИС, 490 стр. 1995 г.