Магистерская диссертация на тему: Технологии вакуумного пыления и оборудование для несения тонких слоёв и плёнок

Введение

Вакуумная техника широко применяется как во многих отраслях промышленности так и при научных исследованиях.

Без развития техники получения высокого, а затем и сверхвысокого вакуума не были бы возможны успехи атомной и ядерной физики, приведение к практическому использованию атомной энергии и глубокому изучению строения вещества. С достижением сверхвысокого вакуума в камерах имитации космического пространства в условиях Земли стало возможным изучение космоса.

В производстве изделий электронной техники современное вакуумное оборудование обеспечивает возможность успешной разработки новых электронных приборов. Вакуумная техника широко используется в установках для получения тонких пленок, для изготовления резисторов, конденсаторов, контактов, функциональных схем и жидкокристаллических ячеек. Изготовление полупроводниковых приборов, элементов солнечных батарей и кварцевых резонаторов также требует применения вакуумной техники.

Настоящий дипломный проект посвящен усовершенствованию установки вакуумного напыления металлических слоёв и диэлектрических пленок в вакууме с целью повышения их качества .

Оглавление

- Введение

- Технологии вакуумного напыления и оборудование для нанесения тонких слоёв и плёнок

- Физические основы нанесения тонких плёнок в вакууме

- Термическое вакуумное напыление

- Катодное распыление

- Ионно-плазменное напыление

- Вакуумные системы и их элементы

- Основные требования, предъявляемые к вакуумным системам

- Вакуумные системы оборудования для нанесения тонких плёнок

- Элементы вакуумных систем

- Устройство вакуумной камеры для получения тонких плёнок термическим испарением

- Усовершенствование блоков установки вакуумного напыления

- Конструкция и принцип работы лабораторной установки вакуумного напыления

- Блок-схема

- Принципиальная схема вакуумной системы

- Устройство вакуумной системы

- Структура электрической схемы базовой установки

- Модернизация электрической схемы установки вакуумного напыления

- Расчёт силового трансформатора

- Разработка трёхканального устройства регулирования тока

- Обеспечение поддержания постоянной температуры подложки

- Структура модернизированной электрической схемы

- Разработка механического устройства поворота заслонки

- Выбор устройства для передачи движения в вакуумную камеру

- Конструкция механизма поворота заслонки

- Технологическая часть

- Технологический процесс изготовление печатной платы и валика

- Экономическая часть

- Подготовительный этап

- Информационный этап

- 4.3. Заключение

- Охрана труда и теника безопасности

- Анализ условий труда

- Освещенность

- Искусственное освещение

- Электробезопасность. Расчёт защитного заземления

- 5.5. Шум

- Оздоровление воздушной среды

- Пожарная безопасность ЗАКЛЮЧЕНИЕ

- Список литературы

Заключение

Поскольку результатом модернизации не ставилось улучшение экономических показателей, а только придание ему новых функциональных возможностей, провести сравнительный анализ базового и нового варианта электрической схемы не представляется возможным.

В этой связи в настоящем экономическом расчете ограничимся расчетом себестоимости единицы продукции, которая составляет 936,97 грн..

Список литературы

1. И.Е.Ефимов, И.Я.Козырь, Ю.И.Горбунов. Микроэлектроника.М. Высшая школа. 1986.464с.

2. А.И.Пипко, В.Я.Плисковский, Б.И.Королев, В.И.Кузнецов. Основы вакуумной техники. М. Энергоиздат. 1981. 432с.

3. Технология тонких плёнок . под ред. Л.Майссела, Р. Гленга. М. Сов.радио.1977.664с.

4. Приборостроение и средства автоматики. Справочник в 5 томах. Т.З. под ред. Ю.В.Шарловского. М.:Машиностроение. 1964.599с.

5. Разработка и оформление конструкторской документации РЭА/под ред.Э.Т.Романычевой.М.:Радио и связь.1989.-448с

6. С.Т.Усатенко, Т.К.Каченюк, М.В.Терехова. Выполнение электрических схем по ЭСКД.М.:Издательсво стандартов.1989.325с.

7. Медников М.И. Вводы движения в вакуум.М.:Машиностроение.1974.184с.

8. Милливольтметр для измерения и регулирования температуры типа Щ4541. Техническое описание и конструкция по эксплуатации. ДЖУ 2.821.102ТО

9. М.Л.Каминский, В.М.Каминский, Монтаж приборов и систем автоматизации. ВШ. М, 87г.

10. Д.Л.Кельберт. Охрана труда в электронной промышленности. Учебник для вузов.3-е издание. М. 1990.

11.Кузнецов И.Е. Методические указания к проведению лабораторных работ по курсу охрана труда для студентов всех специальностей.

12.Семерникова И.А. Методические указания к выполнению раздела "Экономика производства" дипломного проекта для студентов специальностей 090212 всех форм обучения. Херсон 2003г.