Докторская диссертация на тему: Фазовые диаграммы как средство описания взаимодействия различных материалов

Введение

Фазовые диаграммы состояний являются неотъемлемой частью любого обсуждения свойств материалов в тех случаях, когда речь идет о взаимодействии различных материалов. Особенно фазовые диаграммы состояния важны в микроэлектронике, т.к. для изготовления выводов и пассивирующих слоев там приходится использовать большой набор различных материалов. В производстве интегральных микросхем в тесном контакте с различными металлами находится кремний, особое внимание уделим тем фазовым диаграммам, в которых в качестве одной из компонент фигурирует именно кремний.

В данном реферате рассмотрено какие бывают типы фазовых диаграмм, понятие фазового перехода, твердой растворимости, самые важные системы веществ для микроэлектроники.

Оглавление

- Введение

- Типы фазовых диаграмм

- Системы, имеющие важное значение в микроэлектронике

- Твердая растворимость

- Фазовые переходы Выводы

- Литература

Заключение

Фазовые диаграммы состояний являются неотъемлемой частью обсуждения свойств материалов, когда речь идет о взаимодействии различных материалов.

Однофазовые диаграммы состояний изображают фазовое состояние только одного материала.

Двойная фазовая диаграмма (диаграмма состояния двойной системы) представляет состояние системы с двумя компонентами.

Комбинации элементов, образующих химические соединения, имеют более сложные диаграммы состояний.

Список литературы

1. Ормонт Б. Ф. Введение в физическую химию и кристаллохимию полупроводников. - М.: Высшая школа, 1973.

2. Физическое металловедение / Под редакцией Кана Р., вып. 2. Фазовые превращения. Металлография. - М.: Мир, 1968.

3. Ю.М. Таиров, В.Ф. Цветков "Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов", - М.: Высшая школа, 1990р.

4. "Практикум по полупроводникам и полупроводниковим приборам", /Под ред. Шалимовой К.В. - М.: Высшая школа, 1968р.