Реферат на тему: Проектирование и технология радиоэлектронных средств

Введение

МикроЭлектроМеханические Системы или сокращенно МЭМС - это множество микроустройств самых разнообразных конструкций и назначения, производимых сходными методами с использованием модифицированных групповых технологических приемов микроэлектроники. Объединяет их два признака. Первый - это размер, второй - наличие движущихся частей и предназначение к механическим действиям. В мире они известны под аббревиатурой МЕМS - МiсrоЕlесtrоМесhаniсаl Systеms.

Это могут быть:

миниатюрные детали: гидравлические и пневмо клапаны, струйные сопла принтера, пружины для подвески головки винчестера;

микроинструменты: скальпели и пинцеты для работы с объектами микронных размеров;

микромашины: моторы, насосы, турбины величиной с горошину;

микророботы;

микродатчики и исполнительные устройства.

Оглавление

- Введение.

- Микроактюаторы.

- Законы пропорциональной миниатюризации.

- Критерии оценки микроактюаторов.

- Трение и износ.

- Различные типы микроактюаторов.

- Электростатические актюаторы.

- Магнитные актюаторы.

- Пьезоэлектрические актюаторы.

- Гидравлические актюаторы.

- Тепловые актюаторы.

- Изготовление МЭМС.

- Материалы для МЭМС.

- Технологии производства МЭМС.

- Применение МЭМС.

- Заключение.

- Список литературы.

Заключение

Технический прогресс движется вперед, и основное направление-мокроминиатюризация. Безусловно МЭМС технологии ждет большое будущее. Микромеханика позволит производить механические манипуляции с очень большой точностью на микроуровне, где обычная механика бесполезна.

Список литературы

- Мiсrоsystеm Еnginееring (Рrоf. Dr.-Ing. Каsреr).

- Intrоduсtiоn tо miсrоеlесtrоmесhаniсаl systеms.

- Лацапнёв Е., Яшин К.Д.

- Журнал "Микросистемная техника".

- Научно-исследовательская лаборатория микротехнологий и МЭМС СПбГУ.

- Lyshеvsкi S.Е., NАNО- АND МIСRОЕLЕСТRОМЕСНАNIСАL SYSТЕМS - Fundаmеntаls оf Nаnо- аnd Мiсrоеnginееring, СRС Рrеss.

- Размещено на.