Реферат на тему: Методы защиты р-п-переходов полупроводниковых кристаллов и пластин

Введение

Технология производства полупроводниковых приборов - это техническая наука, занимающаяся изучением физико-химических основ технологических процессов производства электронных прибор и закономерностей, действующих в процессе изготовления этих изделий.

Использование результатов исследований фундаментальных наук и доведение их до инженерного решения применительно к производству изделий электронной техники позволяют разрабатывать новые технологические процессы для серийного и массового изготовления.

Развитие прикладных наук в области получения чистых и сверх чистых материалов, нанесения покрытий, соединения различных материалов, электрофизических и электрохимических методов обработки способствовали совершенствованию полупроводниковой и плёночной технологии, особенно при производстве микросхем.

Оглавление

- Введение.

- Методы защиты р-п-переходов полупроводниковых кристаллов и пластин.

- Защита поверхности р-n-переходов лаками и эмалями.

- Эпоскидные смолы.

- Компаунды на основе эпоксидных смол.

- Защита поверхности р-n-переходов вазелином и цеолитами.

- Защита р-n-переходов плёнками окислов металлов.

- Защита поверхности р-n-переходов плёнками нитрида кремния.

- Защита р-n-переходов легкоплавкими стеклами.

- Защита поверхности р-n-переходов силанированием.

- Защита поверхности р-п-переходов окислением.

- Очистка полупроводниковых приборов перед герметизацией.

- Состояние и свойства поверхности полупроводников.

- Методы очистки поверхности полупроводника.

- Химическая и электролитическая отмывка полупроводников.

- Отмывка в кислотах и щелочах.

- Отмывка во фреонах.

- Отмывка водой.

- Отмывка в ультразвуковых ваннах.

- Определение чистоты поверхности.

- Контроль качества промывки.

- Сушка деталей.

- Контроль герметичности полупроводниковых приборов.

- Описание технологического процесса.

Список литературы

- А.А. Маслов "Технология и конструкции полупроводниковых приборов".

- А.И. Курносов "Основы полупроводниковой микроэлектроники".

- А.И. Курносов "Матералы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем".

- В.А. Брук "Производство полупроводниковых приборов".

- Парфёнов "Технология микросхем".

- В.А. Антонов "Технология производства электровакуумных и полупроводниковых приборов".

- С.З. Нейштадт "Технология и оборудование производства радиодеталей и компонентов".

- Й. Коутный "Технология серийного производства транзисторов и полупроводниковых диодов".

- О.К. Мокеев "Химическая обработка и фотолитография в производстве полупроводниковых приборов и микросхем".